記者11日從國家電投黃河水電公司(以下稱“黃河公司”)獲悉,該公司新增800噸電子級多晶硅產(chǎn)線首批產(chǎn)品10日出爐,標志著中國量產(chǎn)電子級多晶硅企業(yè)產(chǎn)能從2500噸/年擴增至3300噸/年,打破了國外壟斷和中國集成電路基礎原材料主要依賴進口的局面,對保障中國集成電路產(chǎn)業(yè)原材料戰(zhàn)略安全具有里程碑意義。
多晶硅材料作為集成電路基礎材料的最前端,生產(chǎn)技術和市場一直被國外壟斷,成為中國發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的瓶頸。
黃河公司新能源分公司副總經(jīng)理張永良介紹,本次技改項目糅合了多項如除硼吸附、渣漿回收等新型工藝和技術,在發(fā)揮原有2500噸/年多晶硅裝置生產(chǎn)能力的前提下,通過新增棒還原爐,對原有尾氣回收、還原、冷氫化、精餾、精整等6項裝置進行工藝系統(tǒng)優(yōu)化改進和技術改造,相繼解決了還原電耗高、尾氣回收裝置處理能力有限等問題,將產(chǎn)能提升至3300噸/年,使國內(nèi)市場占有率超過15%,真正實現(xiàn)了電子級多晶硅的“中國制造”。
“多晶硅生產(chǎn)潔凈區(qū)域和工藝系統(tǒng)的施工安裝潔凈度直接影響著成品的質量,為此,我們對施工過程潔凈質量進行了嚴格控制,實現(xiàn)了4臺技改裝置均一次開車成功,這在國內(nèi)整個行業(yè)都實屬罕見。”該技改項目組副主任危勝說。
張永良表示,項目一次性試車成功并順利產(chǎn)出了產(chǎn)品,標志著公司已掌握了電子級多晶硅的生產(chǎn)工藝和質量管控的技術能力,下一步將會對出爐產(chǎn)品進行純度檢測,根據(jù)雜質含量持續(xù)優(yōu)化設備和工藝參數(shù),提升電子級產(chǎn)品的產(chǎn)出率。
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